ما هي المتطلبات المادية لمصدر التبخر في طلاء الفراغ؟

بشكل عام، ينبغي النظر في المواد وشكل مصدر التبخر. المتطلبات العامة للمادة المصدر التبخرنكون:

نقطة انصهار عالية

نظرا لأن درجة حرارة التبخر للمواد التبخرية (درجة حرارة ضغط بخار التوازن 1.3PA) هي في الغالب ما بين 1000 ~ 2000 ℃، لذلك، يجب أن تكون نقطة الانصهار للمادة المصدر المبخر أعلى من درجة الحرارة هذه.

موازنة ضغط البخار

الغرض الرئيسي هو منع أو تقليل المواد المصدرة التبخرية تحت مواد تبخر درجة الحرارة العالية وتصبح شوائب، في طبقة طلاء التبخر. فقط في مواد مصدر التبخر عندما يكون رصيد ضغط الهواء منخفض بما يكفي لضمان أن يكون له أصغر تبخر ذاتي أثناء التبخر، لا يؤثر على طبقة غشاء التلوث والنظام، من أجل جعل كمية المواد المصدر التبخرية قليلة جدا، التبخر درجة الحرارة، مصدر التبخر المواد الاختيار، يجب أن تجعل المواد درجة حرارة التبخر أقل من مواد مصدر التبخر، وضغط الرصيد 1.3 × 10-6 السلطة الفلسطينية يمكن استخدام درجة الحرارة المقابلة ل 1.3 × 10-3pa لإعداد جودة عالية الأفلام.

خصائص كيميائية مستقرة

لا ينبغي أن تحدث التفاعل الكيميائي مع مواد التبخير في درجة حرارة عالية. عند درجة حرارة عالية، تتفاعل بعض المواد المصدر المبخر وينتشرها بمواد التبخير لتشكيل المركبات والسبائك. لا سيما مصدر التبخر سبيكة منخفض سهلة الاحتراق. على سبيل المثال، ستؤدي Tantalum و Gold إلى تشكيل سبائك في درجة حرارة عالية، والألومنيوم والحديد والنيكل. يمكن أن يتفاعل التنغستن أيضا بالماء أو الأكسجين لتشكيل أكاسيد متقلب مثل WO أو WO2 أو WO3. يمكن أن يتفاعل الموليبدينوم أيضا مع الماء أو الأكسجين لتشكيل moo3 متقلبة، وما إلى ذلك، لذلك، يجب أن تختار المواد التي لن تتفاعل مع مواد الطلاء أو تشكيل سبيكة للقيام مادة مصدر التبخر للمواد.

يجب أن يكون للمواد المستخدمة كمصادر التبخر نقطة انصهار مرتفعة، وتقلية منخفضة وضغط منخفضة بعد تبريد ارتفاع درجة الحرارة. يجب أن يكون مصدر التبخر الخطي الشائع هو مبلولة من مرحلة المعادن التبخرية، فإن نقطة الانصهار أكبر بكثير من درجة حرارة التبخر من الذهب المطلية، ولا تتفاعل مع سبيكة مطلية بالذهب.