تصفح الكمية:0 الكاتب:محرر الموقع نشر الوقت: 2021-07-30 المنشأ:محرر الموقع
خصائص السطحرقاقة السيليكونهي المعلمات الرئيسية لنجاح تقنية الربط المباشرة السيليكون في صناعة أشباه الموصلات. يتم تقييم ماء وعركة سطوح السيليكون المعالجة بثلاث علاجات سطحية نموذجية في تقنية الترابط المباشرة بشكل منهجي بواسطة مجهر القوة الذرية (AFM).
تظهر أسطح السيليكون (HF) المعالجة المستخدمة المستخدمة في الترابط المسعور تغييرا ضئيلا في قوى الالتصاق مع الرطوبة. لكن علاج HF ينتج عنه زيادة كبيرة خشونة، مما يشير إلى أن عمليات إضافية مطلوبة. تظهر أسطح السيليكون المعالجة والحرارية التي تمت معالجتها وحرارية من RCA زيادة قوية في قوات الالتصاق عندما تزيد الرطوبة البيئية من 10٪ إلى حوالي 60٪. يؤدي ارتفاع الرطوبة إلى انخفاض قوة الالتصاق. يعتقد أن هذا بسبب تغيير في هيكل طبقة المياه الممتصة على الأسطح.
نظرا لأن الأسطح المعالجة المائية تعرض قوات التصاق القوية على مجموعة واسعة من الرطوبة، يجب أن يتم الترابط المباشر في الرطوبة المنخفضة للحد من تكوين فقاعة المياه في واجهة الترابط. أيضا، يمكن للعلاجات المائية أن تقلل خشونة السطح بشكل كبير، وهو مواتية للترابط المباشر.