خمسة أنواع من مزايا تقنيات طلاء الطلاء وعيوب.

المغناطيسون غير المتوازنالاخرق

إذا كان التدفق المغناطيسي للأعمدة المغناطيسية الداخلية والخارجية من الكاثود المغناطيسي المتساوي لا يساوي، فهو كاثود مغناطيسي غير متوازن. يتركز المجال المغناطيسي للمغناطيسي العادي لكاترة المغناطيسية بالقرب من الهدف، في حين أن المجال المغناطيسي للمغناطيسي لا يتباعد المغناطيسية المغناطيسية يتباعد الكثير إلى الهدف. يرتبط المجال المغناطيسي للكاثود المغناطيسي العادي بإحكام بالهدف، في حين أن البلازما بالقرب من الركيزة ضعيفة للغاية، فلن يتم قصف الركيزة أيونات وإلكترونات. يمكن أن يمتد المجال المغناطيسي المغناطيسي غير المراقب المغناطيسي المغناطيسي إلى تمديد البلازما إلى الهدف التجاري البعيد وتغمر الركيزة.

تردد الراديو (RF)

مبدأ تكديس الأفلام العازلة: يتم تطبيق إمكانات سلبية على الموصل في الجزء الخلفي من الهدف العازل. في البلازما التفريغ الوهج، عندما يبطئ لوحة هيئة دليل ION الإيجابي إلى الطيران، يتم إطلاق الهدف العازل أمامه لجعله متفاخر. لا يمكن أن يستمر هذا الثراء فقط لمدة 10-7 ثانية، ثم الإمكانات الإيجابية التي تشكلها الرسوم الإيجابية المتراكمة على الصفيحة المستهدفة العازلة تتصدر الإمكانات السلبية على لوحة الموصل، وبالتالي وقف قصف الهدف العازل من خلال أيونات إيجابية عالية الطاقة وبعد في هذه المرحلة، إذا تم عكس قطبية امدادات الطاقة، فإن الإلكترونات ستهاجف اللوحة العازلة وتحييد الرسوم الإيجابية على اللوحة العازلة في غضون 10-9 ثواني، مما يجعلها محتملة. في الوقت الحالي، عكس قطبية امدادات الطاقة، ويمكن أن تهاجم مزايا 10-7 ثانية من الاخرق RF: كلا الهدف المعدني الاخرق، يمكن أيضا أن تكون مطلي عازل سيدار المستهدف المتوسطة

DC Magnetron الاخرق

تتم إضافة معدات طلاء Magnetron Sputering في المستهدف DC Squode Cathode، وهي المجال المغناطيسي تطبيق المجال المغناطيسي بعيدا عن قوة Lorentz ملزمة وتمديد الكهرباء في مسار الحركة الميدانية الكهربائية، إضافة طرق إلكترونية ضد الفرص مع ذرات الغاز، والتصلح الجنسي لإضافة، اجعل قصف أيون الطاقة العالي للطاقة للحقوق المادية المستهدفة والقصف هو مزيد من الزيادات الطلاء للإلكترونات عالية الطاقة.

مزايا الاسترخاء مجسمة المغناطيس

1، يمكن أن تصل كثافة الطاقة المستهدفة إلى 12W / CM2؛

2، يمكن أن تصل الجهد المستهدف إلى 600V3. يمكن أن يصل ضغط الغاز إلى 0.5PA.

3، عيوب Sputertron ثلاثية الأبعاد: الهدف في منطقة المدرج في قناة Sputtering، فإن الحفر السطحي المستهدف بأكمله ليس حتى، ومعدل التطبيق المستهدف هو 20٪ فقط ~ 30٪.

الروابط متوسطة التردد رابط الاخرق

يشير إلى معدات Sputerron Magnetron المتوسطة المتوسطة، والجمهور وحجمها وشكله من الهدف المعاكس الجانب جنبا إلى جنب، وغالبا ما يطلق عليه هدف التوأم. إنها تعليق يتصاعد. بشكل عام، يتم تشغيل هدفين معا، وعملية إذا كان التواصل Echo Echo Sputering، فإن الهدفان بالتناوب بمثابة الأنود والكاثود، والتفاعل ككاثود إيجابي في نفس فترة النصف. عندما يكون الهدف في إمكانات نصف الدورة السلبية، فإن السطح المستهدف متوهج بواسطة قصف إيجابي أيون. في نصف دورة إيجابية، تباطأ تهمة البلازما للوصول إلى السطح المستهدف، ويتم تحييد الرسوم الإيجابية المتراكمة على السطح العازل للسطح المستهدف، والذي لا يتحكم فقط في اشتعال السطح المستهدف، ولكن أيضا يلغي مشهد تخفيض الأنود.

ميزة المتوسطة تردد مزدوج الهدف الصدى الاخرق

(1) معدل تراكم عالي. بالنسبة إلى أهداف السيليكون، فإن معدل التراص للتردد الوسيط التردد اليكو هو 10 أضعاف أن اليكو العاصمة الاخرق.

(2) يمكن أن تتقلب عملية الافعاء في نقطة التشغيل المحددة.

(3) القضاء على المشهد \"الإضاءة \". تعد كثافة عيوب الفيلم العازل المعد عدة أوامر من حجم أقل من طريقة الذاكرة التفاعلية DC.

(4) ارتفاع درجة حرارة الركيزة مفيدة لتحسين جودة الفيلم والتصاق.

(5) إذا كانت مزود الطاقة أكثر تعقيدا ومطابقة مستهدفة من إمدادات الطاقة RF.