يعد ترسب البخار المادي (PVD) تقنية تحضير الأفلام الرفيعة التي تبخر جسديا سطح الهدف إلى ذرات غازية أو جزيئات أو أجزاء في الأيونات تحت ظروف الفراغ. ثم يتم إيداع فيلم مع وظيفة محددة على سطح الركيزة عبر غاز منخفض الضغط (أو البلازما). تتضمن الأساليب الرئيسية لترسب البخار المادي تبخر الفراغ، ترسب التركيب، طلاء البلازما القوس، طلاء أيون، إلخ.
اقرأ المزيد »