المواد المستهدفة هي مواد صنع فيلم رقيقة، باستخدام المواد المستهدفة القصفت من قبل جزيئات مشحونة عالية السرعة، من خلال الليزر المختلفة (شعاع أيون) وتفاعل المواد المستهدفة المختلفة للحصول على نظام غشاء مختلف، لتحقيق وظيفة التوصيل والمنع وبعد لذلك، يسمى الهدف أيضا \"Sputeing Target \". مبدأ عمله هو استخدام الأيونات الناتجة عن مصدر أيون لجمع وتسريع في الفراغ
اقرأ المزيد »